С 91 Сушенцов, Николай Иванович. Основы технологии микроэлектроники [Текст] : лаб. практикум для студентов специальностей 200800, 201500, 200700, 201100, 210100, 220500 / Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2003. - 132 c. : ил. - 16.75 р.
Рубрики: МарГТУ--Издания Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника (технология) -- Лабораторные практикумы Доп.точки доступа: Филимонов, В. Е. Экземпляры всего: 169 абунл (5), аб (164) Свободны: абунл (5), аб (164) |
Т 38 Технология микросхем и микропроцессоров: исследование техпроцесса нанесения пленок методом магнетронного распыления [Текст] : Метод. указания к выполнению лаб. работы для студентов спец. 200800, 220500 / [сост.: М. А. Одинцов, Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов и др.]. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 1995. - 26 c. - 1.54 р.
Рубрики: МарГТУ--Издания Кл.слова (ненормированные): Тонкие пленки -- Магнетронное распыление -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ Доп.точки доступа: Сушенцов, Н. И. \сост.\ Филимонов, В. Е. \сост.\ Кудрявцев, Т. Л. \сост.\ Бахтин, А. Г. \сост.\ Одинцов, Михаил Александрович \сост.\ Экземпляры всего: 1 кнхр (1) Свободны: кнхр (1) |