Б 82 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [Текст] : учебник для средних спец. учеб. заведений / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - Москва : Машиностроение, 1983. - 320 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.). - 1.00 р.
Рубрики: интегральные микросхемы, производство--учебные пособия Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович Экземпляры всего: 1 чз№2 (1) Свободны: чз№2 (1) |
Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.
Рубрики: Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- тонкие пленки -- литографические методы -- пучки частиц -- изготовление микросхем -- микроскопия -- микрозонды -- лазерное сканирование -- легироание Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус Володин, В. А. \пер.\ Першенков, В. С. \пер.\ Подлепецкий, Б. И. \пер.\ Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |