006.91
   К 27


    Карцев, Евгений Александрович.
    Основы нанометрологии [Текст] : [учебное пособие по дисциплине "Методы и средства измерений, испытаний и контроля", изучаемой по специальности 22051 "Управление качеством"] / Е. А. Карцев, А. И. Юрин ; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)". - Москва : Моск. гос. ин-т электроники и математики, 2012. - 136 с. : рис. - ISBN 978-5-94506-331-0 : 310.53 р.
ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
нанометрология -- ГРИФ РИС МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО института электроники и математики -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- НАНООБЪЕКТ -- НАНОИЗМЕРЕНИЯ -- МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ наноизмерений -- нанопокрытия -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- метрология
Доп.точки доступа:
Юрин, Александр Игоревич

Экземпляры всего: 1
кнхр (1)
Свободны: кнхр (1)