6Ф2.1-08
   Б 82


    Борисенко, Александр Сергеевич.
    Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [Текст] : учебник для средних спец. учеб. заведений / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - Москва : Машиностроение, 1983. - 320 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.). - 1.00 р.
УДК

Рубрики: интегральные микросхемы, производство--учебные пособия

Доп.точки доступа:
Бавыкин, Николай Иванович

Экземпляры всего: 1
чз№2 (1)
Свободны: чз№2 (1)