Э 45 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication : научное издание / [Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др.] ; под ред. Дж. Р. Брюэра ; пер. с англ. Ф. П. Пресса. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : граф., ил., рис., табл. ; 21 см. - Авторы указаны на обороте титульного листа. - Параллельный титульный лист английский. - Библиография в конце книги. - 5700 экз.. - (в пер.) : 1.90 р. Рубрики: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная--Производство Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Брюер, Джордж Р. Гринич, Джеймс С. Херриот, Дональд Р. Пресс, Феликс Павлович \пер., ред.\ Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |