В 24 Введение в фотолитографию [Текст] / Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев ; ред. В. П. Лаврищев. - Москва : Энергия, 1977. - 400 с. - 1.47 р.
Рубрики: Радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): интегральная электроника -- радиоэлектронная аппаратура -- фотолитография Доп.точки доступа: Боков, Ю. С. Корсаков, В. С. Лаврищев, В. П. Лаврищев, В. П. \ред.\ Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |
Ф 81 Фотолитография и оптика [Текст] = Fotolitografie und Optik : научное издание / ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - Москва : Советское радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - 1.57 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ ОПТИКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- КООРДИНАТОГРАФЫ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ Доп.точки доступа: Федотов, Я. А. \ред.\ Поль, Г. \ред.\ Экземпляры всего: 3 аб (2), кнхр (1) Свободны: аб (2), кнхр (1) |
К 93 Курносов, Анатолий Иванович. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1986. - 367 с. - Библиогр.: с. 363. - Предм. указ.: с. 364-365. - 1.30 р.
Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): СВЧ-диапазон -- антимонид галлия -- антимонид индия -- арсенид галлия -- арсенид индия -- германий -- диффузионные структуры -- диэлектрические пленки -- защитные пленки -- имс -- интегральные микросхемы -- интерметаллические соединения -- ионная имплантация -- ионно-плазменное распыление -- конструкции корпусов -- кремний -- лазерные технологии -- нитридные пленки кремния -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- полупроводниковые подложки -- пособия для вузов -- р-п-переход -- радиация -- рентгенолитография -- сборка полупроводниковых приборов -- термическое испарение -- тонкие пленки -- фосфид галлия -- фотолитография -- фоторезисторы -- фотошаблоны -- эпитаксиальное наращивание Аннотация: В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Юдин, Владимир Васильевич Экземпляры всего: 4 кнхр (1), чз№2 (3) Свободны: кнхр (1), чз№2 (3) |
В 24 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. : [учеб. пособие] / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты / [М. В. Акуленок и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 391.49 р.
Кл.слова (ненормированные): НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ сухое -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- СЛОЖНЫй нанорельеф -- эпитаксия кремния -- диэлектрические пленки -- легирование -- литографические процессы -- фотолитография -- легирование -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ Доп.точки доступа: Коркишко, Ю. Н. \ред.\ Акуленок, Марина Викторовна Андреев, Владимир Михайлович Громов, Дмитрий Геннадьевич Зиновьев, Д. В. Экземпляры всего: 49 абунл (43), чз№2 (5), кнхр (1) Свободны: абунл (43), чз№2 (3), кнхр (1) |