Ф 53 Филимонов, Виталий Евгеньевич. Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники [Текст : Электронный ресурс] : [учеб. пособие для студентов вузов по направлениям подгот. 211000 "Конструирование и технология электрон. средств", 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов ; М-во образования и науки РФ, ГОУ ВПО "Мар. гос. техн. ун-т". - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011. - 159 с. : ил. - ISBN 978-5-8158-0867-6 : 46.82 р., 47.37 р.
Кл.слова (ненормированные): ГРИФ УМО ВУЗОВ РФ ПО ОБРАЗОВАНИЮ В ОБЛАСТИ РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ, БИОМЕДИЦИНСКОЙ ТЕХНИКИ И АВТОМАТИЗАЦИИ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- подложки (электронная техника) -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ химическое -- ОЧИСТКА подложек Перейти к внешнему ресурсу Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович Экземпляры всего: 71 чз№2 (5), абунл (66) Свободны: чз№2 (5), абунл (66) |