Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.
Рубрики: Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- тонкие пленки -- литографические методы -- пучки частиц -- изготовление микросхем -- микроскопия -- микрозонды -- лазерное сканирование -- легироание Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус Володин, В. А. \пер.\ Першенков, В. С. \пер.\ Подлепецкий, Б. И. \пер.\ Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |
Р 49 Рид, С. Дж. Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии [Текст] / С. Дж. Б. Рид ; пер. с англ. Д. Б. Петрова, И. М. Романенко, В. А. Ревенко. - М. : ТЕХНОСФЕРА, 2008. - 229 с. : ил., цв.ил., 4 л. цв. ил. - (Мир наук о Земле). - ISBN 978-5-94836-177-2 : 636.68 р.
Кл.слова (ненормированные): ГЕОЛОГИЯ -- рентгеноспектральный анализ -- рентгеновские спектрометры -- РАСТРОВАЯ электронная микроскопия -- электронные микроскопы -- ЭЛЕКТРОННЫЕ Линзы -- электронные микрозонды -- СПЕКТРОМЕТРЫ рентгеновские -- МИКРОСКОПЫ оптические Доп.точки доступа: Петров, Д. Б. \пер.\ Романенко, И. М. \пер.\ Ревенко, В. А. \пер.\ Экземпляры всего: 3 абунл (2), кнхр (1) Свободны: абунл (2), кнхр (1) |