К 66 Корзо, В. Ф. Диэлектрические пленки в микроэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 368 с. : ил. ; 20 см. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344. - 1.35 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИКИ -- ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ -- ЯВЛЕНИЯ ПРОБОЯ -- ПРЫЖКОВАЯ ПРОВОДИМОСТЬ Аннотация: Даны свойства пленочных диэлекриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Доп.точки доступа: Черняев, В. Н. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |