К 93 Курносов, А. И. Полупроводниковая микроэлектроника [Текст] : научное издание / А. И. Курносов, Э. Н. Воронков. - М. : Воениздат, 1973. - 240 с. : ил., граф., табл., черт. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 0.88 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ -- ФОТОВОЛЬТАИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Аннотация: В книге рассмотрены методы изготовления интегральных схем. Описаны планарная, эпитаксиальная и электроннолучевая технологии изготовления интегральных схем. Дан анализ новых физических явлений. Доп.точки доступа: Воронков, Э. Н. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |