Ш 76 Шнаревич, Е. И. Диэлектрики интегральных схем [Текст] : научное издание / Е. И. Шнаревич, О. А. Рыбинский, В. А. Злобин. - Москва : Энергия, 1975. - 120 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 5). - Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.). - 0.35 р.
Рубрики: Электроника--Радиоэлектронные схемы Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах. Доп.точки доступа: Рыбинский, О. А. Злобин, В. А. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |
А 47 Алексеева, Наталья Ильинична. Интегральные микросхемы [Текст] : проектирование, технология : [учебное пособие для студентов вузов по направлению 211000 "Конструирование и технология электронных средств"] / Н. И. Алексеева, Н. В. Рубан ; М-во образования и науки России, ФГБОУ ВПО "Омский гос. техн. ун-т". - Омск : Изд-во ОмГТУ, 2012. - 105 с. : рис., табл. - ISBN 978-5-8149-1298-5 : 297.00 р.
Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ГРИФ УМО ВУЗОВ РФ ПО ОБРАЗОВАНИЮ В ОБЛАСТИ РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ, БИОМЕДИЦИНСКОЙ ТЕХНИКИ И АВТОМАТИЗАЦИИ -- ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- LTCC-технологии -- LTCC-платы -- МИКРОСХЕМЫ интегральные -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ резисторы -- РЕЗИСТОРЫ тонкоПЛЕНОЧНЫЕ -- КОНДЕНСАТОРЫ тонкопленочные -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ конденсаторы -- толстоПЛЕНОЧНЫЕ проводники -- ПРОВОДНИКИ толстопленочные -- толстоПЛЕНОЧНЫЕ ГИС Доп.точки доступа: Рубан, Надежда Васильевна Экземпляры всего: 1 кнхр (1) Свободны: кнхр (1) |