Ф 81 Фотолитография и оптика [Текст] = Fotolitografie und Optik : научное издание / ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - Москва : Советское радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - 1.57 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ ОПТИКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- КООРДИНАТОГРАФЫ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ Доп.точки доступа: Федотов, Я. А. \ред.\ Поль, Г. \ред.\ Экземпляры всего: 3 аб (2), кнхр (1) Свободны: аб (2), кнхр (1) |