621.382
   Т 38


   
    Технология микросхем и микропроцессоров: исследование техпроцесса нанесения пленок методом магнетронного распыления [Текст] : Метод. указания к выполнению лаб. работы для студентов спец. 200800, 220500 / [сост.: М. А. Одинцов, Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов и др.]. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 1995. - 26 c. - 1.54 р.
УДК

Рубрики: МарГТУ--Издания

Кл.слова (ненормированные):
Тонкие пленки -- Магнетронное распыление -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ
Доп.точки доступа:
Сушенцов, Н. И. \сост.\
Филимонов, В. Е. \сост.\
Кудрявцев, Т. Л. \сост.\
Бахтин, А. Г. \сост.\
Одинцов, Михаил Александрович \сост.\

Экземпляры всего: 1
кнхр (1)
Свободны: кнхр (1)