Ш 76 Шнаревич, Е. И. Диэлектрики интегральных схем [Текст] : научное издание / Е. И. Шнаревич, О. А. Рыбинский, В. А. Злобин. - Москва : Энергия, 1975. - 120 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 5). - Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.). - 0.35 р.
Рубрики: Электроника--Радиоэлектронные схемы Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах. Доп.точки доступа: Рыбинский, О. А. Злобин, В. А. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |
М 48 Мельниченко, А. Т. Основы технологии тонких и толстых пленок [Текст] : [учебное пособие для студентов по специальности "Конструирование и производство радиоэлектронных средств"]. Ч. 2. 2303 / А. Т. Мельниченко ; М-во связи СССР, Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича. - Ленинград : ЛЭИС, 1990. - 69, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 69 (9 назв.). - 0.75 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |
Б 90 Букреев, Игорь Николаевич. Микроэлектронные схемы цифровых устройств [Текст] / И. Н. Букреев, В. И. Горячев, Б. М. Мансуров. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Радио и связь, 1990. - 414 c. : ил. - ISBN 5-256-00412-3 : 1.70 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы -- Микросхемы цифровых устройств -- Схемы микроэлектронные -- Цифровые микроэлектронные устройства Доп.точки доступа: Горячев, В. И. Мансуров, Б. М. Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |