Р 64 Розбери, Фред. Справочник по вакуумной технике и технологии [Текст] : справочное издание / Ф. Розбери ; перевод с английского Н. Б. Шпаро, А. М. Ямпольского ; под общей редакцией Р. А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1972. - 454, [2] с. : ил. - Библиогр. в тексте. - Предм. указ.: с. 451-455. - 3.69 р.
Рубрики: Вакуумная техника Кл.слова (ненормированные): Справочные издания -- Вакуумная техника -- Вакуумные технологии -- Электровакуумные приборы -- Электронные лампы Доп.точки доступа: Шпаро, Н. Б. \пер.\ Ямпольский, А. М. \пер.\ Нилендер, Р. А. \ред.\ Экземпляры всего: 2 кнхр (1), чз№1 (1) Свободны: кнхр (1), чз№1 (1) |
Д 18 Данилин, Борис Степанович. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / Б. С. Данилин ; редактор Р. А. Нилендер. - Москва : Энергия, 1972. - 266 с. - 0.89 р. Рубрики: Радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): интегральная электроника -- вакуумная техника Доп.точки доступа: Нилендер, Р. А. \ред.\ Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |
Ф 53 Филимонов, Виталий Евгеньевич. Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники [Текст : Электронный ресурс] : [учеб. пособие для студентов вузов по направлениям подгот. 211000 "Конструирование и технология электрон. средств", 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов ; М-во образования и науки РФ, ГОУ ВПО "Мар. гос. техн. ун-т". - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011. - 159 с. : ил. - ISBN 978-5-8158-0867-6 : 46.82 р., 47.37 р.
Кл.слова (ненормированные): ГРИФ УМО ВУЗОВ РФ ПО ОБРАЗОВАНИЮ В ОБЛАСТИ РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ, БИОМЕДИЦИНСКОЙ ТЕХНИКИ И АВТОМАТИЗАЦИИ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- подложки (электронная техника) -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ химическое -- ОЧИСТКА подложек Перейти к внешнему ресурсу Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович Экземпляры всего: 71 чз№2 (5), абунл (66) Свободны: чз№2 (5), абунл (66) |
С 74 Справочник по вакуумной технике и технологиям [Текст] / Минпромторг России ; под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха, Дж. Томаса III ; пер. с англ. Ю. Л. Цвирко под ред. В. А. Романько, С. Б. Нестерова. - М. : Техносфера, 2011. - 735 с. : ил., табл. - (Мир радиоэлектроники). - ISBN 978-5-94836-294-6 : 1084.82 р.
Кл.слова (ненормированные): СПРАВОЧНИКИ -- ВАКУУМНАЯ техника -- вакуумные технологии -- вакуумные измерения -- ВАКУУМНЫЕ установки -- вакуумные системы -- вакуумные насосы -- НАСОСЫ Доп.точки доступа: Хоффман, Д. \ред.\ Сингх, Б. \ред.\ Томас III, Дж. \ред.\ Цвирко, Ю. Л. \пер.\ Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |