Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=пучки частиц<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   6Ф2.1-08
   Б 88

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.
УДК
6Ф2.1.08

Рубрики:
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- тонкие пленки -- литографические методы -- пучки частиц -- изготовление микросхем -- микроскопия -- микрозонды -- лазерное сканирование -- легироание
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\
Шальнов, А. В. \ред.\

Экземпляры всего: 2
чз№2 (1), кнхр (1)
Свободны: чз№2 (1), кнхр (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 10.06.2024
Число запросов 4913
Число посетителей 244
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».