Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микрозонды<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   6Ф2.1-08
   Б 88

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.

УДК

6Ф2.1.08

Рубрики:
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- тонкие пленки -- литографические методы -- пучки частиц -- изготовление микросхем -- микроскопия -- микрозонды -- лазерное сканирование -- легироание
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\
Шальнов, А. В. \ред.\

Экземпляры всего: 2
чз№2 (1), кнхр (1)
Свободны: чз№2 (1), кнхр (1)

Найти похожие

   55
   Р 49

    Рид, С. Дж. Б.
    Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии [Текст] / С. Дж. Б. Рид ; пер. с англ. Д. Б. Петрова, И. М. Романенко, В. А. Ревенко. - М. : ТЕХНОСФЕРА, 2008. - 229 с. : ил., цв.ил., 4 л. цв. ил. - (Мир наук о Земле). - ISBN 978-5-94836-177-2 : 636.68 р.

ГРНТИ	38.01
УДК	55:537.533.35

Кл.слова (ненормированные):
ГЕОЛОГИЯ -- рентгеноспектральный анализ -- рентгеновские спектрометры -- РАСТРОВАЯ электронная микроскопия -- электронные микроскопы -- ЭЛЕКТРОННЫЕ Линзы -- электронные микрозонды -- СПЕКТРОМЕТРЫ рентгеновские -- МИКРОСКОПЫ оптические
Доп.точки доступа:
Петров, Д. Б. \пер.\
Романенко, И. М. \пер.\
Ревенко, В. А. \пер.\

Экземпляры всего: 3
абунл (2), кнхр (1)
Свободны: абунл (2), кнхр (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 10.06.2024
Число запросов	15798
Число посетителей	653
Число заказов	0