Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Найдено в других БД:

Статьи (2)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=Реактив<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электронный ресурс] / Ю. А. Родионов. - 2-е изд., стер. - Санкт-Петербург : Лань, 2022. - 220 с. - ISBN 978-5-8114-9566-5 : Б. ц.

Кл.слова (ненормированные):
Реактив -- фильтрация -- травление -- нанесение пленок -- деионизованная вода -- эбс лань
Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 29.05.2024
Число запросов	13330
Число посетителей	1001
Число заказов	0