Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ОЧИСТКА подложек<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.382
   Ф 53

    Филимонов, Виталий Евгеньевич.
    Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники [Текст : Электронный ресурс] : [учеб. пособие для студентов вузов по направлениям подгот. 211000 "Конструирование и технология электрон. средств", 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов ; М-во образования и науки РФ, ГОУ ВПО "Мар. гос. техн. ун-т". - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011. - 159 с. : ил. - ISBN 978-5-8158-0867-6 : 46.82 р., 47.37 р.
ГРНТИ
47.33.31
УДК
621.382.049.77(075.8)
621.382-022.532(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
ГРИФ УМО ВУЗОВ РФ ПО ОБРАЗОВАНИЮ В ОБЛАСТИ РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ, БИОМЕДИЦИНСКОЙ ТЕХНИКИ И АВТОМАТИЗАЦИИ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- подложки (электронная техника) -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ химическое -- ОЧИСТКА подложек
Перейти к внешнему ресурсу Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники.

Доп.точки доступа:
Сушенцов, Николай Иванович

Экземпляры всего: 71
чз№2 (5), абунл (66)
Свободны: чз№2 (5), абунл (66)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.05.2024
Число запросов 15933
Число посетителей 1023
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».