Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=литографические процессы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.382
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. : [учеб. пособие] / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии).
   Т. 2 : Технологические аспекты / [М. В. Акуленок и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 391.49 р.
ГРНТИ
47.13
УДК
621.382.049.77(075.8)
620.3(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ сухое -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- СЛОЖНЫй нанорельеф -- эпитаксия кремния -- диэлектрические пленки -- легирование -- литографические процессы -- фотолитография -- легирование -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич
Зиновьев, Д. В.

Экземпляры всего: 49
абунл (43), чз№2 (5), кнхр (1)
Свободны: абунл (43), чз№2 (3), кнхр (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 44846
Число посетителей 1175
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».