Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Акчурин, Р. Х.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

621.382 + 621.315
А 44

Акчурин, Р. Х.
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники [Электронный ресурс] / Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк. - Москва : Техносфера, 2018. - 488 с. - ISBN 978-5-94836-521-3 : Б. ц.

УДК

621.382 + 621.315

ББК 31.2

Кл.слова (ненормированные):
эбс лань
Аннотация: В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIirBV, AirBVI и твердых растворов на их основе - основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024

Доп.точки доступа:
Мармалюк, А. А.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 08.07.2024
Число запросов	91845
Число посетителей	1257
Число заказов	0