Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электронный ресурс] / Ю. А. Родионов. - 2-е изд., стер. - Санкт-Петербург : Лань, 2022. - 220 с. - ISBN 978-5-8114-9566-5 : Б. ц.

Кл.слова (ненормированные):
Реактив -- фильтрация -- травление -- нанесение пленок -- деионизованная вода -- эбс лань
Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024

Найти похожие

   6Ф2.1-08
   К 66

    Корзо, Виктор Федорович.
    Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. - 0.54 р.

ГРНТИ	29
УДК	6Ф2.1-08

Кл.слова (ненормированные):
НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Доп.точки доступа:
Курочкин, Владимир Алексеевич
Демин, Виктор Петрович

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 26.06.2024
Число запросов	43921
Число посетителей	898
Число заказов	0