Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>S=Электроника -- Радиоэлектронные схемы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/Ш 76
Автор(ы) : Шнаревич Е. И., Рыбинский О. А., Злобин В. А.
Заглавие : Диэлектрики интегральных схем : научное издание
Выходные данные : Москва: Энергия, 1975
Колич.характеристики :120 с.: ил.; 20 см
Серия: Б-ка радиотехнолога; Вып. 5
Примечания : Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.)
Цена : 0.35, 0.35, р.
ГРНТИ : 47.41
УДК : 621.382-18
Предметные рубрики: Электроника-- Радиоэлектронные схемы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диэлектрические пленки--микроэлектронные схемы--неорганические вещества--органические вещества--тонкопленочные конденсаторы--химические методы
Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах.
Экземпляры : всего : аб(1), кнхр(1)
Свободны : аб(1), кнхр(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 08.07.2024
Число запросов 30004
Число посетителей 666
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».