Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Найдено в других БД:

Статьи (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/В 24
Автор(ы) : Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П.
Заглавие : Введение в фотолитографию
Выходные данные : Б.м., 1977
Колич.характеристики :400 с
Цена : 1.47, р.
ГРНТИ : 47.01
Предметные рубрики: Радиоэлектроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральная электроника--радиоэлектронная аппаратура--фотолитография
Экземпляры : всего : аб(1), кнхр(1)
Свободны : аб(1), кнхр(1)
Найти похожие

Вид документа : Многотомное издание
Шифр издания : 621.382/В 24
Автор(ы) : Акуленок, Марина Викторовна, Андреев, Владимир Михайлович, Громов, Дмитрий Геннадьевич, Зиновьев Д. В.
Заглавие : Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: в 2 т. : [учеб. пособие]/ под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2: Технологические аспекты
Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011
Колич.характеристики :252 с.: ил.
ISBN, Цена 978-5-9963-0336-6: 391.49, 391.49, р.
ГРНТИ : 47.13
УДК : 621.382.049.77(075.8) + 620.3(075.8)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнология--травление сухое--тонкие пленки--сложный нанорельеф--эпитаксия кремния--диэлектрические пленки--легирование--литографические процессы--фотолитография--легирование--интегральные микросхемы
Экземпляры : всего 46: абунл(43), чз№2(5), кнхр(1)
Свободны : абунл(43), чз№2(5), кнхр(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.151/К 93
Автор(ы) : Курносов, Анатолий Иванович, Юдин, Владимир Васильевич
Заглавие : Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для вузов . -3-е изд., перераб. и доп.
Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1986
Колич.характеристики :367 с
Примечания : Библиогр.: с. 363. - Предм. указ.: с. 364-365
Цена : 1.30, 1.30, р.
ГРНТИ : 47.01
УДК : 6П2.151
ББК : 32.852-06
Предметные рубрики: Радиоэлектроника-- Электроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): свч-диапазон--антимонид галлия--антимонид индия--арсенид галлия--арсенид индия--германий--диффузионные структуры--диэлектрические пленки--защитные пленки--имс--интегральные микросхемы--интерметаллические соединения--ионная имплантация--ионно-плазменное распыление--конструкции корпусов--кремний--лазерные технологии--нитридные пленки кремния--полупроводниковые материалы--полупроводниковые пластины--полупроводниковые подложки--пособия для вузов--р-п-переход--радиация--рентгенолитография--сборка полупроводниковых приборов--термическое испарение--тонкие пленки--фосфид галлия--фотолитография--фоторезисторы--фотошаблоны--эпитаксиальное наращивание
Аннотация: В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Экземпляры : всего : кнхр(1), чз№2(3)
Свободны : кнхр(1), чз№2(3)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/Ф 81
Заглавие : Фотолитография и оптика : научное издание
Параллельн. заглавия :Fotolitografie und Optik
Выходные данные : Москва: Советское радио; Берлин: Техника, 1974
Колич.характеристики :392 с.: ил.
Цена : 1.57, 1.57, р.
ГРНТИ : 29.31
УДК : 621.385.1.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковая электроника--планарная технология--основные законы оптики--фотошаблоны--координатографы--фотоповторители--фотоповторители
Экземпляры : всего : аб(2), кнхр(1)
Свободны : аб(2), кнхр(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 04.08.2024
Число запросов	55292
Число посетителей	702
Число заказов	0