Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Книги

Область поиска

Найдено в других БД:

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Введение в фотолитографию/Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев ; ред. В. П. Лаврищев. - 1977

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Т. 2:Технологические аспекты/[М. В. Акуленок и др.]. - 2011

Курносов А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем/А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 1986

Фотолитография и оптика/ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - 1974