Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Статьи (16)

Полные тексты изданий ПГТУ (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=тонкие пленки<.>)

Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-17

   6Ф2.1-08
   Б 88

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.

УДК

6Ф2.1.08

Рубрики:
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- тонкие пленки -- литографические методы -- пучки частиц -- изготовление микросхем -- микроскопия -- микрозонды -- лазерное сканирование -- легироание
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\
Шальнов, А. В. \ред.\

Экземпляры всего: 2
чз№2 (1), кнхр (1)
Свободны: чз№2 (1), кнхр (1)

Найти похожие

   6Ф2.1-08
   В 14


    Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме [Текст] / Ю. З. Бубнов, М. С. Лурье, Ф. Г. Старос, Г. А. Филаретов. - Москва : Советское радио, 1975. - 161 с. - 0.49 р.

ГРНТИ

47.01

Рубрики: Радиоэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
магнитные матрицы -- элементы конструкций радиоэлектронной аппаратуры -- вакуумное нанесение пленок -- квазизамкнутый объем -- тонкие пленки -- применение вакуума
Доп.точки доступа:
Бубнов, Ю. З.
Лурье, М. С.
Старос, Ф. Г.
Филаретов, Г. А.

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)

Найти похожие

   621.382
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. : [учеб. пособие] / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии).
   Т. 2 : Технологические аспекты / [М. В. Акуленок и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 391.49 р.

ГРНТИ	47.13
УДК	621.382.049.77(075.8)	620.3(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ сухое -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- СЛОЖНЫй нанорельеф -- эпитаксия кремния -- диэлектрические пленки -- легирование -- литографические процессы -- фотолитография -- легирование -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич
Зиновьев, Д. В.

Экземпляры всего: 49
абунл (43), чз№2 (5), кнхр (1)
Свободны: абунл (43), чз№2 (3), кнхр (1)

Найти похожие

   62
   В 93


    Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники) [Текст] : материалы XIII междунар. науч.-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Баумана, 2007, 6-8 сент.). Тонкие пленки в электронике : материалы XX междунар. симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007, 6-8 сент.) / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, ОАО ЦНТИ "Техномаш". - М. : [б. и.], 2007. - 457 c. : ил. - ISBN 5-902740-04-5 : 250.00 р.

81.01
УДК	62-027.22(063)	621.382.049.77(063)	621.38(063)

Рубрики: Электроника

Россия
Кл.слова (ненормированные):
Тонкие пленки -- Симпозиумы международные -- Международные конференции -- Промышленность -- Научные конференции -- Высокие технологии -- конференции
Экземпляры всего: 1
кнхр (1)
Свободны: кнхр (1)

Найти похожие

   621.382
   И 28

    Игумнов, Владимир Николаевич.
    Физические основы микроэлектроники [Электронный ресурс] : учеб. пособие / В. Н. Игумнов. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2008. - 271 с. : ил. - 134.62 р.

47.33.31
УДК	621.382.049.77(075.8)

Рубрики: Электроника

Россия
Марий Эл
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- КВАНТОВАЯ МЕХАНИКА -- СТАТИСТИЧЕСКАЯ ФИЗИКА -- ТВЕРДОЕ ТЕЛО -- Поверхностные явления -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Перейти к внешнему ресурсу Физические основы микроэлектроники.
Экземпляры всего: 1
кнхр (1)
Свободны: кнхр (1)

Найти похожие

   621.382
   И 28

    Игумнов, Владимир Николаевич.
    Физические основы микроэлектроники [Электронный ресурс] : [учеб. пособие для студентов вузов по направлению подгот. "Проектирование и технология электрон. средств" : регистрацион. номер рецензии 389 от 30.06.09, МГУП] / В. Н. Игумнов. - Изд. 2-е, перераб. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2010. - 295 c. : ил. - ISBN 978-5-8158-0779-2 : 52.62 р., 53.32 р., 30.22 р.

47.33.31
УДК	621.382.049.77(075.8)

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- гриф московского физико-технического института -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА (ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ) -- ТВЕРДОЕ ТЕЛО (ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ) -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Перейти к внешнему ресурсу Физические основы микроэлектроники.
Экземпляры всего: 145
абунл (133), чз№2 (10), чз№3 (1), кнхр (1)
Свободны: абунл (125), чз№2 (3), чз№3 (1), кнхр (1)

Найти похожие

   6Ф2.1-08
   К 66

    Корзо, Виктор Федорович.
    Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. - 0.54 р.

ГРНТИ	29
УДК	6Ф2.1-08

Кл.слова (ненормированные):
НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Доп.точки доступа:
Курочкин, Владимир Алексеевич
Демин, Виктор Петрович

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)

Найти похожие

   6Ф2.1-08
   К 93

    Курносов, А. И.
    Полупроводниковая микроэлектроника [Текст] : научное издание / А. И. Курносов, Э. Н. Воронков. - М. : Воениздат, 1973. - 240 с. : ил., граф., табл., черт. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 0.88 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	6Ф2.1-08

Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ -- ФОТОВОЛЬТАИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
Аннотация: В книге рассмотрены методы изготовления интегральных схем. Описаны планарная, эпитаксиальная и электроннолучевая технологии изготовления интегральных схем. Дан анализ новых физических явлений.
Доп.точки доступа:
Воронков, Э. Н.

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)

Найти похожие

   6П2.151
   К 93

    Курносов, Анатолий Иванович.
    Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1986. - 367 с. - Библиогр.: с. 363. - Предм. указ.: с. 364-365. - 1.30 р.

ГРНТИ	47.01
УДК	6П2.151

ББК 32.852-06

Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника

Кл.слова (ненормированные):
СВЧ-диапазон -- антимонид галлия -- антимонид индия -- арсенид галлия -- арсенид индия -- германий -- диффузионные структуры -- диэлектрические пленки -- защитные пленки -- имс -- интегральные микросхемы -- интерметаллические соединения -- ионная имплантация -- ионно-плазменное распыление -- конструкции корпусов -- кремний -- лазерные технологии -- нитридные пленки кремния -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- полупроводниковые подложки -- пособия для вузов -- р-п-переход -- радиация -- рентгенолитография -- сборка полупроводниковых приборов -- термическое испарение -- тонкие пленки -- фосфид галлия -- фотолитография -- фоторезисторы -- фотошаблоны -- эпитаксиальное наращивание
Аннотация: В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Доп.точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич

Экземпляры всего: 4
кнхр (1), чз№2 (3)
Свободны: кнхр (1), чз№2 (3)

Найти похожие

10.

   62(03)
   Н 25


    Нанонаука и нанотехнологии [Текст] : энцикл. систем жизнеобеспечения / Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т) (МИРЭА), Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, Ин-т прикладной нанотехнологии, Компании SIB LAB ; гл. соред.: Осама О. Аваделькарим (США), Чуньли Бай (КНР), С. П. Капица (Россия) ; [пер.: Н. Н. Выхристенко и др.]. - М. : ЮНЕСКО [и др.], 2009. - XXXII, 991 [1] с. c. : [1] л. портр. : ил., табл. - ISBN 978-5-89317-224-9 : 3000.00 р.

81.09.01
УДК	620.3(031)	62-022.532(031)

Кл.слова (ненормированные):
ЭНЦИКЛОПЕДИИ -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОТЕРМОДИНАМИКА -- НАДМОЛЕКУЛЯРНАЯ ХИМИЯ -- НАНОСИСТЕМЫ -- НАНОТРИБОЛОГИЯ -- НАНОУГЛЕРОДЫ -- НАНОКОМПОЗИТЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНОМЕХАНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОМЕДИЦИНА -- МЕДИЦИНСКИЕ НАНОРОБОТЫ -- Наноалмазы -- НАНОСЕНСОРЫ -- НАНОматериалы -- МОЛЕКУЛЯРНАЯ электроника
Доп.точки доступа:
Аваделькарим, Осама \ред.\
Бай, Чуньли \ред.\
Капица, С. П. \ред.\
Выхристенко, Н. Н. \пер.\

Экземпляры всего: 1
кнхр (1)
Свободны: кнхр (1)

Найти похожие

1-10 11-17

Тематический навигатор

Статистика за 26.06.2024
Число запросов	41140
Число посетителей	821
Число заказов	0