Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микрозонды<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/Б 88
Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Заглавие : Физические основы микротехнологии
Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication
Выходные данные : Москва: Мир, 1985
Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Цена : 2.60 р.
УДК : 6Ф2.1.08
Географич. рубрики:
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--тонкие пленки--литографические методы--пучки частиц--изготовление микросхем--микроскопия--микрозонды--лазерное сканирование--легироание
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Экземпляры : всего : чз№2(1), кнхр(1)
Свободны : чз№2(1), кнхр(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 55/Р 49
Автор(ы) : Рид С. Дж. Б.
Заглавие : Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии
Выходные данные : М.: ТЕХНОСФЕРА, 2008
Колич.характеристики :229 с.: ил., цв.ил., 4 л. цв. ил.
Серия: Мир наук о Земле
ISBN, Цена 978-5-94836-177-2: 636.68, 636.68, р.
ГРНТИ : 38.01
УДК : 55:537.533.35
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): геология--рентгеноспектральный анализ--рентгеновские спектрометры--растровая электронная микроскопия--электронные микроскопы--электронные линзы--электронные микрозонды--спектрометры рентгеновские--микроскопы оптические
Экземпляры : всего : абунл(2), кнхр(1)
Свободны : абунл(2), кнхр(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 08.07.2024
Число запросов	44082
Число посетителей	702
Число заказов	0