Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=изготовление микросхем<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/Б 88
Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Заглавие : Физические основы микротехнологии
Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication
Выходные данные : Москва: Мир, 1985
Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Цена : 2.60 р.
УДК : 6Ф2.1.08
Географич. рубрики:
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--тонкие пленки--литографические методы--пучки частиц--изготовление микросхем--микроскопия--микрозонды--лазерное сканирование--легироание
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Экземпляры : всего : чз№2(1), кнхр(1)
Свободны : чз№2(1), кнхр(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 05.07.2024
Число запросов 55324
Число посетителей 742
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».