Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Найдено в других БД:

Статьи (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=воспроизводимость<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Берлин, Е. В.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Электронный ресурс] : справочное пособие / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц.

Кл.слова (ненормированные):
эбс лань
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024

Доп.точки доступа:
Сейдман, Л. А.

Найти похожие

   006.91
   Т 66

    Третьяк, Людмила Николаевна.
    Основы теории измерений и обработки экспериментальных данных [Текст] : [учебное пособие по направлениям подготовки: 27.03.01 "Стандартизация и метрология", 27.03.02 "Управление качеством"; по специальности 23.05.01 "Наземные транспортно-технологические средства"] / Л. Н. Третьяк, А. Л. Воробьев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, ФГБОУ ВПО "Оренбургский гос. ун-т". - Оренбург : ПолиАрт, 2016. - 225 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-906501-20-2 : 1279.00 р.

ГРНТИ	90.27
УДК	006.91(075.8)	681.2.08(075.8)

Рубрики: Метрология

Анализ данных

Кл.слова (ненормированные):
ГРИФ УМО РАЕ ПО КЛАССИЧЕСКОМУ УНИВЕРСИТЕТСКОМУ И ТЕХНИЧЕСКОМУ ОБРАЗОВАНИЮ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ДАННЫЕ (ОБРАБОТКА) -- ОБРАБОТКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ -- ТЕОРИЯ ИЗМЕРЕНИЙ -- МЕТРОЛОГИЯ -- ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ -- КОСВЕННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ -- СОВМЕСТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ -- АКТИВНЫЙ ЭКСПЕРИМЕНТ -- ПЛАНИРОВАНИЕ АКТИВНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА -- АНАЛИЗ АКТИВНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА -- ЗАКОН РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЭКСПЕРИМЕНТА -- ОПЫТЫ (воспроизводимость) -- воспроизводимость опытов -- АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ ОБРАБОТКА НАБЛЮДЕНИЙ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Андрей Львович

Экземпляры всего: 30
абунл (28), чз№1 (1), кнхр (1)
Свободны: абунл (28), чз№1 (1), кнхр (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 08.07.2024
Число запросов	53948
Число посетителей	808
Число заказов	0