Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6Ф2.1-08/Э 45
Автор(ы) : Брюер, Джордж Р., Гринич, Джеймс С., Херриот, Дональд Р.
Заглавие : Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : научное издание
Параллельн. заглавия :Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1984
Колич.характеристики :336 с.: граф., ил., рис., табл.; 21 см
Примечания : Параллельный титульный лист английский. - Библиография в конце книги. - Авторы указаны на обороте титульного листа
Цена : 1.90, р.
Предметные рубрики: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная-- Производство
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электронно-лучевая технология--электронно-лучевая литография
Экземпляры : всего : аб(1), кнхр(1)
Свободны : аб(1), кнхр(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.06.2024
Число запросов 122963
Число посетителей 742
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».