Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ сухое<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Многотомное издание
Шифр издания : 621.382/В 24
Автор(ы) : Акуленок, Марина Викторовна, Андреев, Владимир Михайлович, Громов, Дмитрий Геннадьевич, Зиновьев Д. В.
Заглавие : Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: в 2 т. : [учеб. пособие]/ под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2: Технологические аспекты
Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011
Колич.характеристики :252 с.: ил.
ISBN, Цена 978-5-9963-0336-6: 391.49, 391.49, р.
ГРНТИ : 47.13
УДК : 621.382.049.77(075.8) + 620.3(075.8)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнология--травление сухое--тонкие пленки--сложный нанорельеф--эпитаксия кремния--диэлектрические пленки--легирование--литографические процессы--фотолитография--легирование--интегральные микросхемы
Экземпляры : всего 46: абунл(43), чз№2(5), кнхр(1)
Свободны : абунл(43), чз№2(3), кнхр(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 28.06.2024
Число запросов 93916
Число посетителей 817
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».