Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Книги- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Родионов, Ю. А.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания :
Автор(ы) : Родионов Ю. А.,
Заглавие : Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем / Ю. А. Родионов . -2-е изд., стер.
Выходные данные : Санкт-Петербург: Лань, 2022
Колич.характеристики :220 с.
ISBN, Цена 978-5-8114-9566-5: Б.ц.
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактив--фильтрация--травление--нанесение пленок--деионизованная вода--эбс лань
Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.06.2024
Число запросов 23871
Число посетителей 767
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».