Ф 53 Филимонов, Виталий Евгеньевич . Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011. - 160 с. - ISBN 978-5-8158-0867-6 : Б. ц.
Рубрики: МарГТУ_издания Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- наноэлектроника -- зондовые микроскопы -- вакуумная техника -- технология очистки подложек Перейти к внешнему ресурсу Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович |