621.382
   И 28


    Игумнов, Владимир Николаевич.
    Физические основы микроэлектроники [Электронный ресурс] : [учеб. пособие для студентов вузов по направлению подгот. "Проектирование и технология электрон. средств". Регистрацион. номер рецензии 389 от 30.06.09 МГУП] / В. Н. Игумнов. - Изд. 2-е, перераб. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2010. - 295 c. : ил. - ISBN 978-5-8158-0779-2 : 52.62 р.
ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ГРИФ ГОУ ВПО МОСКОВСКИЙ физико-технический ин-т -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА (ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ) -- ТВЕРДОЕ ТЕЛО (ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ) -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Перейти к внешнему ресурсу Физические основы микроэлектроники.