Вид документа : Статья из сборника (том многотомника) Шифр издания : Ч48/И 62 Автор(ы) : Алмазбеков, Кайратбек Алмазбекович Заглавие : Разработка технологии изготовления диэлектрических пленок Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч./ М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, М. Т. Алиев.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2018. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 109-112: 2 рис. Примечания : Библиогр.: с. 112 (2 назв.) ББК : Ч48 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--материалы конференций--диэлектрические пленки--магнетронное распыление--нитрид алюминия--технологические процессы Аннотация: В статье рассмотрена технология изготовления диэлектрических пленок, а именно нитрида алюминия, чтобы в дальнейшем на стеклянной подложке получить пленку толщиной, достаточной для пропускания спектра. Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (канд. техн. наук; доцент) \науч. рук.\