Вид документа : Статья из сборника (том многотомника) Шифр издания : Ч48/И 62 Автор(ы) : Рыжова, Елена Андреевна Заглавие : Исследование влияния толщины пленки на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали на поверхностное сопротивление Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы II Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 21-25 ноября 2016 г.) : в 8 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2016. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности . - С. 74-76: 2 рис. - 678016 кнхр Примечания : Библиогр.: с. 76 (3 назв.) ББК : Ч48 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--исследования--толщина пленки--оксиды--нитриды--нержавеющая сталь--поверхностное сопротивление--магнетронное распыление--резистивная пленка--метод напыления Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент) \науч. рук.\