Вид документа : Статья из сборника (том многотомника) Шифр издания : Автор(ы) : Кузнецова М. Ю. Заглавие : Патентоспособное устройство для повышения адгезии тонких металлических пленок в многослойной тонкопленочной структуре Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 73-75: 1 рис. - кнхр Примечания : Библиогр.: с. 75 (3 назв.) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--металлические пленки--пленки--многослойные структуры--тонкопленочные структуры--магнетронное распыление--адгезия--магнетроны Доп.точки доступа: Филимонов, В. Е. (кандидат технических наук, доцент) \науч. рук.\