Вид документа : Статья из сборника (том многотомника) Шифр издания : Ч21/Н 34 Автор(ы) : Сушенцов Н. И., Степанов С. А., Шашин Д. Е. Заглавие : Применение совмещенной схемы магнетронного распыления и дугового испарения при создании функциональных покрытий Место публикации : Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015": 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015"/ [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - С. 78-82: 6 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - 670837 кнхр Примечания : Библиогр.: с. 82 (2 назв.) УДК : Ч21 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--магнетронное распыление--пленка--магнетроны--дуговое испарение--функциональные покрытия Аннотация: В статье описан опытный образец установки магнетронного распыления и дугового испарения. Экземпляры : кнхр(1) Свободны : кнхр(1) Доп.точки доступа: Степанов, С. А. Шашин, Д. Е.