Вид документа : Статья из сборника (том многотомника) Шифр издания : Ч2/Н 34 Автор(ы) : Кузнецова М. Ю., Мороз А. В., Филимонов В. Е. Заглавие : Повышение межслойной адгезии в многослойной тонкопленочной структуре для микро- и наноэлектроники Место публикации : "Наука и инновации". Материалы девятой международной научной школы " Наука и инновации-2014" ISS "SI-2014": материалы Восьмого международного научного семинара "Фундаментальные исследования и инновации"; материалы Всероссийского молодежного научного семинара "Наука и инновации-2014" (Йошкар-Ола, 7-12 июля 2014 г.) / [редкол.: И. И. Попов, В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; М-во спорта РФ, Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь", РФФИ, М-во образования и науки РМЭ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т", ФГБУН "Казан. физ.-техн. ин-т им. Е. К. Завойского" Казан. науч. центра РАН [и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2014. - С. 159-161. - (Инновационно- технологические разработки). - 666818 кнхр Примечания : Библиогр.: с. 161 (5 назв.) УДК : Ч2 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--международные конференции--международные семинары--научные семинары--магнетронное распыление--слоистые структуры--адгезия--тонкие пленки--многослойные покрытия Экземпляры : кнхр(1) Свободны : кнхр(1) Доп.точки доступа: Мороз, А. В. Филимонов, В. Е.