Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : 62/М 26 Автор(ы) : Ермолаев А.В, Сушенцов Н.И. Заглавие : Разработка технологии получения слоистых структур на основе ZnO Место публикации : Сборник тезисов докладов студентов, аспирантов, докторантов по итогам научно-технической конференции МарГТУ в 2004 г./ Мар. гос. техн. ун-т ; [редкол.: В. А. Иванов, Я. А. Фурман, Е. М. Романов и др.]. - Йошкар-Ола: МарГТУ, 2004. - С. 101-102. - (Секция 3. Радиофизика, техника, локация и связь). - 609307 кнхр УДК : 62 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды маргту--магнетронное распыление пленки zno--получение тонких пленок--кристаллографические свойства--технология получения пленок zno--свойства пленок --слоистые структуры Экземпляры :3 экз абнл, 609307 кнхр(1) Свободны : 3 экз абнл, 609307 кнхр(1) Доп.точки доступа: Сушенцов, Н.И.