Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Заглавие : Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному методом дефокусировки электронного зонда РЭМ Серия: Нанометрология Место публикации : Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 6. - С. 420-425: ил. Примечания : Библиогр.: с. 425(3 назв.) УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевая технология(развитие)--растровая электронная микроскопия--наноструктуры (электронно-микроскопические исследования) Аннотация: На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной.