Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77 Автор(ы) : Скворцов А.М. Заглавие : Структура нанокластеров кремния в системе кремний - диоксид кремния Место публикации : Изв. вузов. Приборостроение. - 2009. - Т.5. - С. 69-73 Примечания : Библиогр.: 20 назв. УДК : 621.3.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотранзисторы--материалы керамические (эвп) Экземпляры :нчз(1) Свободны : нчз(1)