Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.31 Автор(ы) : Бенедетто, Винья Заглавие : Особенности производства микроэлектромеханических систем Место публикации : Электронные компоненты. - 2008. - N11. - С. .62-63. УДК : 621.31 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микромеханические системы--мемс-акселерометры--mems-технологии(микроприборы и микросистемы)--датчики физических величин--автомобильная электроника(компоненты) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1)