Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77 Заглавие : Фотолюминесцентная методика оценки качества длиннопериодных CaAs/AlCaAs резонансно туннельных сверхрешеточных структур на разных технологических этапах изготовления Место публикации : Микроэлектроника. - 2007. - Т.3. - С. 4.-С.261-276.-Библиогр.:27 назв. УДК : 621.3.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): контроль качества полупроводниковых изделий(диагностические--качество полупроводниковых изделий Экземпляры :чз N2(1) Свободны : чз N2(1)