Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3+537.33 Заглавие : Новые перспективы применения кристаллов алмаза в микроэлектронике[Текст] Место публикации : Микроэлектроника. - 2006. - Т.5. - С. 5.-С.339-346. - (Технологические процессы и проблемы микроэлектроники) УДК : 621.3+537.33 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кристаллы полупроводниковых приборов Аннотация: Алмаз в электронике Экземпляры :ЧЗ N2(1) Свободны : ЧЗ N2(1)