Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382.3.019.3 Автор(ы) : Снитовский Ю.П. Заглавие : Реконструкция поверхности кремния при очистке и ее влияние на переходное сопротивление контактов Al/ Mo-Si и параметры биполярных СВЧ-транзисторов[Текст] Место публикации : Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - С. №5.-С.366-371.-Библиогр.: с.370-371. - (Приборы микро- и наноэлектроники) УДК : 621.382.3.019.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): свч-транзисторы(выбор)--кремний(очистка,подлегирование) Экземпляры :чз№2(1) Свободны : чз№2(1)