Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Морозов С., Соколов. С. Заглавие : Аспекты эволюции субмикронной микроэлектроники - взгляд изнутри[Текст] Место публикации : CHIP NEWS. - 2004. - №4. - С. 4-13. - (Системы на кристалле) Примечания : Библиогр.: с. 13 УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника полупроводниковая (технологии)--нанометография (последние достижения)--нанотехнологии Экземпляры :чз№2(1) Свободны : чз№2(1) Доп.точки доступа: Соколов., С.