Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Быков В.А. Заглавие : Инструменты нанотехнологии : состояние и перспективы развития[Текст] Место публикации : Успехи современной радиоэлектроники. - 2004. - №5-. - С. С.123-128.-Библиогр.: 11назв. - (Нанотехнолгия) УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнология(состояние,развитие) Экземпляры :чз№2(1) Свободны : чз№2(1)