Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.38.002-181.48 Автор(ы) : Петропавловский В. Заглавие : Нанотехнологии гарантируют будущее полупроводниковых технологий Место публикации : CHIP NEWS.Инженерная микроэлектроника. - 2003. - №8. - С. 4-25. - (Новые технологии) УДК : 621.38.002-181.48 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнологии--субмикронная технология--микроминиатюризация Экземпляры :чз№2(1) Свободны : чз№2(1)