Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.315.592 Автор(ы) : Гридчин В.А. Заглавие : Феноменологическое описание пьезорезистивного эффекта в пленках поликристалического кремния Место публикации : Микроэлектроника. - 2003. - №7-. - С. -С.261-270 .-Библиогр.20назв. УДК : 621.315.592 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электроника теория--пьезосопротивления--электроника полупроводников--феноменологическое описание Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1)